Système de marquage de codes QR avancé pour les plaquettes de semi-conducteurs

Le système utilise un laser UV nanoseconde de 3W. La courte longueur d'onde UV permet un marquage propre avec une chaleur minimale, tandis que la durée d'impulsion nanoseconde rapide vaporise la surface sans transférer d'énergie thermique au matériau. Ce mécanisme de « traitement à froid » empêche les microfissures et les altérations thermiques, ce qui le rend sûr pour les matériaux tels que le SiC, le GaN et le saphir.

Le taux de rendement est garanti par un système de vérification intégré en « boucle fermée ». Après le marquage, le système de vision capture une image, la décode en temps réel et la compare aux données prévues. Si une différence est détectée, le système signale la plaquette et la dirige vers un cassette séparé, empêchant ainsi les marquages incorrects de progresser et enregistrant l'erreur pour examen.

Le système est conçu pour des changements rapides. Le passage d'une taille à une autre implique la sélection d'une nouvelle recette dans le logiciel, ce qui configure automatiquement les paramètres de manipulation. Le robot à double bras avec moteur DD prend en charge la plage de 2 à 12 pouces sans ajustements mécaniques, ce qui permet de réaliser les changements de taille en quelques minutes.

Il est compatible avec les semi-conducteurs (Si), les semi-conducteurs composés (SiC, GaN, InP, GaSb) et les substrats spéciaux (saphir, verre, LT). Il est compatible avec des tailles de plaquettes allant de 2 à 12 pouces.

Le système est livré avec une garantie de 12 mois et offre une assistance de service après-vente disponible 7 jours sur 24.